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太陽能多晶硅電池片的生產工藝,通常包括:硅片清洗、制絨、堿洗、酸洗、磷擴散、邊緣刻蝕、等離子化學氣相沉積(PECVD)、絲網印刷干燒結、檢測包裝等工序,在這一系列的在生產過程中會產生氟化物、氮氧化物、鹽酸霧、Cl2、硫酸霧、NH3、非甲烷總烴等多種大氣污染物,如控制不當可能對當地大氣環境和周圍人群健康產生不利影響。
氮氧化物廢氣的產生,主要是在制絨和邊緣刻蝕這兩道工序,具體反應原理如下:
制絨:太陽能電池片采用硝酸、氫氟酸、異丙醇等制絨,與硅片反應生成H2SiF6和NOX。反應方程式:Si +2HNO3 +6HF→H2SiF6 + NO2↑+ 3H2O + NO↑+ H2↑
注:此工序產生含HF、NOX、H2、非甲烷總烴的廢氣。
邊緣刻蝕:利用HNO3、HF和硫酸的混合溶液對硅片邊緣進行腐蝕,去除硅片邊緣的PN結,具體的反應式為:Si + HNO3 + HF → H2SiF6 + NO2↑+ H2O + NO↑+ H2↑
注:此工序產生含HF、NOX、硫酸霧的酸性廢氣。
其中,大部分的酸性氣體可以用堿液噴淋處理掉,可偏偏黃色的氮氧化物氣體處理效果不理想,弱水無極環??萍吉毤已邪l了一種黃煙去除劑,專門處理煙氣里的氮氧化物,去除率高達99%。主要應用于電鍍行業不良鍍件或電鍍掛具的退鍍、鋁合金、不銹鋼的化學拋光、光伏行業硅片處理等使用硝酸的場合,也可用于鍋爐燃燒場所。它能和黃煙(即:氮氧化物),進行化學反應,生成氮氣等無害氣體,從源頭消除黃煙的隱患。
注:無論是NO2氣體,還是NO氣體,都能夠被黃煙去除劑所吸收,不再有新的黃煙產生。
該處理方法無需增加新的設備,黃煙去除劑加在原有的噴淋塔的液堿里即可,原料來源廣泛,總藥劑成本低廉,對黃煙的去除效率很高,具有實用推廣的可行性。
浙江某太陽能企業使用前后效果對比